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光谱共焦测厚
光谱共焦的干涉测量原理及厚度测量模式 光谱共焦位移传感器的干涉测量原理基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。这种测量技术通过分析不同波长的光在特定表面的聚焦位置大小单双正倍投法,以实现高精度的尺寸测量和微观形貌分析。干涉测量原理:光谱共焦传感器通过彩色激光光源发射出一束高密度宽光谱光。
对于透明材料样品大小单双正倍投法,如玻璃、透镜等大小单双正倍投法,光谱共焦位移传感器提供了厚度检测模式。在这种模式下大小单双正倍投法,两种不同波度的光可以分别在样品的前面和后面聚焦,形成两个聚点。通过测量这两个聚点的位置,并结合样品的折射系数参数,就可以计算出样品的厚度值。
深圳立仪科技有限公司的光谱共焦位移传感器可用于各种透明玻璃厚度测量,包括双边对射厚度测量场景,其产品作为玻璃测厚传感器具有高精度、适应性广的特点。具体说明如下:产品核心优势立仪科技自主研发的光谱共焦位移传感器采用光谱共焦原理,相比传统激光三角法具有更高精度和更广适应性。
测量角度:测量角度是被测物表面法线与探头轴线的最大允许偏角。超过此角度时,反射光无法返回探头,导致测量失败。常见测量角度为±15°~±30°,适用于曲面或倾斜表面检测。最小可测厚度:针对透明材料,传感器能区分上下表面的最小厚度。当材料过薄时,反射光谱峰会重叠,无法解析。
LTC100B光谱共焦传感器在多个行业实现了场景化落地,推动了智能制造的升级。半导体行业:在线监测晶圆厚度(0.1μm精度),提升良率12%。新能源行业:双层涂布厚度同步测量(±0.5μm),降低材料损耗8%。医疗行业:360°曲面粗糙度分析(Ra 0.01μm),优化术后视觉质量。

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