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椭偏仪如何建模
对于有薄膜的情况大小球盘口分析单双，需要考虑多次反射的叠加。此时大小球盘口分析单双，rp和rs的模型会变得更加复杂，需要包含更多的参数，如薄膜的厚度d、折射率nn2和n3等。对于多层薄膜、薄膜表面不光滑或需要考虑薄膜的晶格结构等情况，模型会更加复杂。
椭偏仪的测量并非一蹴而就，而是通过复杂的数据拟合过程来揭示隐藏的参数。它的工作原理就像一个精密的解码器，需要一个合适的模型作为钥匙，才能打开薄膜参数的宝箱。模型的选择至关重要，决定着测量结果的准确性和可靠性。
椭偏仪测量的主要是ρ值，它随波长和入射角变化。测量数据通过复杂的分析过程，包括建立包含多个材料层的模型，用厚度和光学常数（折射率n和消光系数k）描述。模型的参数会根据测量数据进行调整，以减小误差，解决反演问题。
具体来说，椭偏仪测量的核心参数包括Δ（位相参量）和ψ（振幅参量）。Δ反映大小球盘口分析单双了反射前后p波和s波位相差的变化，而ψ则反映了p波与s波的振幅比在反射前后的变化。通过对光强信号随偏振器方位角的变化作傅里叶变换，可以求得椭偏参数ψ和Δ。
通过不断调整模型参数以最小化实验数据与模型预测之间的均方误差，从而得到可靠的测量结果。这一过程通常借助衰减分析和Levenberg-Marquardt算法来实现。在实际应用中，由于材料表面的粗糙度和氧化等因素，模型的建立变得复杂。
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